结论概述：晶盛机电取得“冷却结构及化学气相沉积设备”的实用新型专利后，其他企业使用类似技术是否构成侵权，需从专利保护范围、技术相似性、侵权判定原则及例外情形等多维度综合判断。以下结合新闻背景及法律规定详细分析：
一、专利保护范围是侵权判定的基础
根据《中华人民共和国专利法》第十一条规定，实用新型专利权被授予后，除本法另有规定的以外，任何单位或者个人未经专利权人许可，都不得实施其专利，即不得为生产经营目的制造、使用、许诺销售、销售、进口其专利产品。晶盛机电的“冷却结构及化学气相沉积设备”专利，其保护范围由权利要求书界定，具体包括冷却结构的设计（如第一水冷流道的布局、连通方式等）及与化学气相沉积设备的结合方式。其他企业若使用类似技术，需首先对比其技术与专利权利要求书中的技术特征是否一致或等同。
二、技术相似性需严格比对
直接侵权情形：若其他企业的技术完全复制了专利中的关键技术特征（如第一水冷流道的布局、连通方式等），且用于相同或类似的化学气相沉积设备中，则可能构成直接侵权。
等同侵权情形：即使其他企业的技术未完全复制专利中的所有技术特征，但若其通过替换、组合等方式实现了与专利技术相同的功能和效果，且这种替换或组合是本领域技术人员无需创造性劳动即可联想到的，则可能构成等同侵权。
三、侵权判定原则及例外情形
全面覆盖原则：侵权技术需包含专利权利要求书中的全部技术特征，或与这些技术特征等同。若其他企业的技术仅包含部分技术特征，或存在实质性差异，则不构成侵权。
现有技术抗辩：若其他企业能证明其使用的技术属于申请日前的现有技术（如已公开的文献、已销售的产品等），则不构成侵权。
合法来源抗辩：若其他企业能证明其使用的技术是从合法渠道获得（如从专利权人处购买、经专利权人许可使用等），且支付了合理对价，则不构成侵权。但需注意，此抗辩仅适用于使用行为，不适用于制造、销售等行为。
四、结合新闻背景的具体分析
新闻背景中提到，晶盛机电的该专利旨在解决双轴式磁流体密封组件内侧的第一磁流体结构的冷却问题，降低内部磁液蒸发风险，保证化学气相沉积设备的工艺可靠性。其他企业若使用类似技术，需特别关注其技术是否也针对同一问题提供了相同或类似的解决方案。若其他企业的技术虽用于化学气相沉积设备，但解决的是不同问题或采用了不同原理，则可能不构成侵权。
五、法律建议及后续行动
专利检索与分析：其他企业在使用类似技术前，应进行全面的专利检索与分析，确保不侵犯晶盛机电的专利权。
技术比对与评估：将自身技术与晶盛机电的专利进行详细比对，评估侵权风险。若存在侵权风险，应及时调整技术方案或寻求专利权人的许可。
法律维权途径：若晶盛机电发现其他企业侵权，可通过行政查处、民事诉讼等途径维护自身权益。同时，也可考虑通过协商、调解等方式解决纠纷。
总结：其他企业使用类似技术是否构成侵权，需根据专利保护范围、技术相似性、侵权判定原则及例外情形等多维度综合判断。建议企业在使用新技术前进行充分的专利检索与分析，以降低侵权风险。如有任何疑问或需要进一步的法律帮助，请直接向我咨询。