税务机关撤销处理决定是否违法，不能一概而论，需根据具体情况判断。以下从多个角度进行分析：
一、合法撤销的情形
认定事实错误：
- 若税务机关对违法事实的认定存在根本性错误，例如将合法交易错误认定为非法交易，基于依法行政原则，税务机关应主动撤销原处理决定，并重新调查认定。这种情况下，撤销处理决定是合法的。
适用法律错误：
- 当税务机关依据错误的法律法规作出处理决定时，例如错误适用了与税收违法行为不相关的法律条文，该处理决定因缺乏合法依据而应被撤销。税务机关在发现错误后，应依法撤销原决定，并重新作出正确的处理决定。
程序违法：
- 税务处理必须遵循法定程序，如未依法告知当事人陈述、申辩权，或未按规定举行听证等。严重违反程序的税务处理决定应被撤销，并重新按照合法程序处理。这种情况下，撤销处理决定也是合法的。
主要证据不足：
- 如果税务机关作出处理决定所依据的主要证据不足，不能充分证明当事人的税收违法行为，该处理决定同样可被撤销。税务机关在撤销决定后，应进一步收集证据或重新调查。
超越职权或滥用职权：
- 税务机关在行使处理权时，必须在其法定职权范围内进行，且必须公正、合理地行使。超越职权或滥用职权的处理决定是无效的，可被撤销。
处理明显不当：
- 若税务机关的处理决定明显不当，显失公平，也应被撤销。例如，对轻微违法行为作出了过重的处罚决定。
二、违法撤销的情形
无正当理由撤销：
- 如果税务机关在没有正当理由的情况下撤销处理决定，例如出于个人偏见、利益输送或其他非法目的，这种撤销行为是违法的。
违反法定程序撤销：
- 税务机关在撤销处理决定时，也必须遵循法定程序。如果未依法履行撤销程序，如未通知当事人、未听取当事人陈述申辩等，这种撤销行为也是违法的。
三、撤销流程与注意事项
撤销流程：
- 当事人认为税务机关的处理决定存在可撤销情形时，可向上一级税务机关或同级人民政府申请行政复议，或在法定期限内向人民法院提起行政诉讼。复议机关或人民法院将依法对税务机关的处理决定进行审查，并作出撤销决定或判决。
注意事项：
- 当事人在申请撤销时，应提供充分的证据和理由来支持其主张，确保申请的合理性和有效性。
- 复议机关和人民法院在审查过程中将秉持公正、公开、透明的原则，确保撤销决定的合法性和公正性。
总结与建议：税务机关撤销处理决定是否违法，需根据具体情况判断。如果税务机关的撤销行为符合法定情形和程序，则是合法的；反之，则是违法的。如果您认为税务机关的撤销行为违法，建议收集相关证据，及时向上一级税务机关或同级人民政府申请行政复议，或在法定期限内向人民法院提起行政诉讼，以维护自身合法权益。如有任何疑问或需要进一步的法律帮助，请直接向我咨询。