如果工厂未经合法程序占用了您家的土地，这属于违法行为，您有权通过法律途径维护自身权益。具体来说，可以从以下几个角度分析和处理：

1. 确认土地权属与占用性质
   首先需明确您家对土地的合法权属（如土地承包经营权、宅基地使用权等），并确认工厂占用土地的行为性质：

   • 是否经过合法审批：若工厂通过政府征收、土地出让等合法程序取得土地使用权，但未与您家达成补偿协议，则可能涉及行政程序违法或补偿纠纷；
     
   • 是否属于非法侵占：若工厂未经任何审批程序直接占用土地，则构成民事侵权或违反《土地管理法》的违法行为。
     

2. 收集关键证据
   无论哪种情况，您需尽快收集以下证据以支持维权：

   • 土地权属证明（如土地承包合同、宅基地证、集体土地使用证等）；
     
   • 工厂占用土地的现场照片、视频或证人证言；
     
   • 政府征收文件（如有）、补偿协议（如有）等书面材料；
     
   • 与工厂或相关部门的沟通记录（如录音、书面函件）。
     

3. 分情况维权路径

   • 情况一：工厂占用行为违法
     若工厂未取得合法手续，您可采取以下措施：

     • 向自然资源部门举报：根据《土地管理法》第七十七条，非法占用土地的，由县级以上人民政府自然资源主管部门责令退还土地，没收违法所得，并可处罚款；
       
     • 提起民事诉讼：要求工厂停止侵害、返还土地、恢复原状，并赔偿因占用导致的损失（如土地收益损失、农作物损失等）；
       
     • 申请刑事立案：若工厂占用土地面积较大（如基本农田5亩以上、其他土地10亩以上），可能涉嫌非法占用农用地罪，可向公安机关报案。
       

   • 情况二：工厂占用行为合法但补偿不合理
     若工厂通过合法程序取得土地使用权，但您认为补偿标准过低或未达成协议，可：

     • 申请行政复议或提起行政诉讼：对政府征收决定或补偿方案不服的，可在法定期限内（通常为6个月）提起行政诉讼；
       
     • 协商或申请调解：通过当地政府、村委会或第三方调解机构与工厂协商补偿方案；
       
     • 要求重新评估补偿：若对土地价值评估有异议，可申请专业机构重新评估，并依据评估结果主张合理补偿。
       

4. 注意事项

   • 避免激化矛盾：在维权过程中保持理性，避免与工厂发生直接冲突，防止自身权益进一步受损；
     
   • 及时行使权利：土地纠纷的诉讼时效为3年，自知道或应当知道权利被侵害之日起计算，建议尽快启动法律程序；
     
   • 咨询专业律师：土地纠纷涉及行政、民事、刑事多重法律关系，建议委托律师协助处理，以提高维权效率。
     

总结：工厂占用土地是否合法需结合具体程序判断，但无论哪种情况，您均可通过行政举报、民事诉讼或刑事报案等途径维护权益。建议优先收集证据并咨询律师，制定针对性维权方案。如有进一步问题，可直接向我提问。