查处违法用地后，是否需要退还征地补偿款需分情况讨论，具体分析如下：

1. 若违法用地行为发生在征地补偿款发放前
   根据《土地管理法》第七十七条，未经批准或采取欺骗手段骗取批准非法占用土地的，由县级以上人民政府自然资源主管部门责令退还非法占用的土地。此时，因土地尚未被合法征收，征地程序尚未启动或未完成，不存在退还补偿款的问题，但需承担返还土地、恢复原状等法律责任。

2. 若违法用地行为发生在征地补偿款发放后
   需进一步区分违法主体与补偿对象是否一致：

   • 若补偿对象本身存在违法用地行为（如通过伪造材料骗取补偿）：
     根据《民法典》第一百五十四条，行为人与相对人恶意串通损害他人合法权益的民事法律行为无效。行政机关可依据《行政处罚法》第七十二条，追缴违法所得（包括已发放的补偿款），并处以罚款；构成犯罪的，依法追究刑事责任。
     
   • 若补偿对象合法，但后续使用土地时违法（如改变土地用途）：
     根据《土地管理法》第八十二条，擅自将农用地改为建设用地的，由县级以上人民政府自然资源主管部门责令限期改正，没收违法所得。此时，已发放的补偿款通常无需退还，但需承担行政处罚责任（如罚款、拆除违法建筑等）。

3. 特殊情形：行政机关违法发放补偿款
   若因行政机关工作人员滥用职权、玩忽职守导致补偿款错误发放，根据《国家赔偿法》第四条，行政机关需承担赔偿责任，已发放的补偿款可能被追回，但需通过行政诉讼或国家赔偿程序处理，而非直接要求相对人退还。

建议：若涉及具体案件，需结合土地性质（如农用地、建设用地）、违法行为类型（如骗取补偿、改变用途）、补偿款发放时间等要素综合判断。如有疑问，可直接向我咨询，我将结合案情提供进一步分析。