审查补偿决定的合法性，主要涉及以下几个方面：

1. 补偿决定的作出主体是否合法：

   • 补偿决定应由具有法定职权的行政机关作出。例如，在房屋征收中，根据《国有土地上房屋征收与补偿条例》的规定，市、县级人民政府是作出房屋征收决定的主体，也是作出补偿决定的主体。若其他主体擅自作出补偿决定，则该决定可能因主体不合法而被撤销。

2. 补偿决定的作出程序是否合法：

   • 补偿决定的作出应遵循法定程序。这包括征收决定的公告、补偿方案的制定与公布、征求公众意见、组织听证会（如需要）、社会稳定风险评估、补偿费用的足额到位等步骤。若行政机关在作出补偿决定时跳过某些必要程序，如未充分征求公众意见或未进行社会稳定风险评估，则该决定可能因程序违法而被撤销。
   • 举例：在某旧城改造项目中，征收方未将该项目纳入当年的国民经济和社会发展年度计划，也未充分征求公众意见，被征收人通过法律途径维权，最终该征收决定及后续的补偿决定被判定存在瑕疵而被撤销。

3. 补偿决定的内容是否合法：

   • 补偿决定的内容应符合法律法规的规定，包括补偿标准、补偿方式、补偿期限等。补偿标准应合理，不得低于市场价格或法律法规规定的最低标准。若补偿决定的内容违反法律法规的规定，如补偿标准明显偏低或补偿方式不合理，则该决定可能因内容不合法而被撤销或变更。
   • 法律依据：根据《国有土地上房屋征收与补偿条例》的相关规定，对被征收房屋价值的补偿，不得低于房屋征收决定公告之日被征收房屋类似房地产的市场价格。被征收房屋的价值，由具有相应资质的房地产价格评估机构按照房屋征收评估办法评估确定。

4. 补偿决定是否考虑了相关因素：

   • 行政机关在作出补偿决定时，应全面、客观地考虑与案件相关的所有因素，如被征收房屋的面积、结构、用途、地理位置、市场价值等。若行政机关在作出补偿决定时未考虑相关因素或考虑了无关因素，则该决定可能因缺乏合理性而被撤销或变更。

5. 补偿决定是否符合行政合理性原则：

   • 行政合理性原则要求行政行为应符合立法目的、保持适度、符合比例原则的要求，并尽可能减少对行政相对人合法权益的侵害。在补偿决定中，这意味着补偿标准应合理、补偿方式应适当，且不得过度干预或不足干预被征收人的权益。若补偿决定违反行政合理性原则，如补偿标准过高或过低、补偿方式不合理等，则该决定可能因缺乏合理性而被撤销或变更。

在审查补偿决定的合法性时，若发现上述任何一方面存在问题，被征收人都有权通过法律途径维权。例如，可以申请行政复议或提起行政诉讼，要求撤销或变更不合法的补偿决定。作为专业律师，我建议被征收人在遇到补偿决定不合法的情况时，及时咨询并寻求法律帮助，以维护自己的合法权益。