工厂在自有土地拆后重建是否违法，需根据具体情况判断，主要涉及土地用途、规划许可、建设许可等关键因素。以下从不同角度详细分析：

1. 土地用途是否符合规划

• 合法情形：若工厂自有土地用途为工业用地，且重建项目符合当地工业用地规划（如产业升级、技术改造等），且未改变土地用途（如从工业用地变为商业或住宅用地），则重建行为通常合法。
• 违法情形：若重建项目超出工业用地规划范围（如擅自建设住宅、商业设施），或未按照规划要求进行建设（如建筑密度、容积率超标），则可能违反《城乡规划法》相关规定，面临行政处罚（如责令拆除、罚款等）。

2. 是否取得规划许可

• 合法情形：根据《城乡规划法》第四十条，在城市、镇规划区内进行建筑物、构筑物建设的，需向城乡规划主管部门申请建设工程规划许可证。若工厂已依法取得规划许可，则重建行为合法。
• 违法情形：未取得规划许可擅自重建的，属于违法建设行为，可能面临责令停止建设、限期拆除、罚款等处罚。若拒不执行，还可能被强制拆除。

3. 是否取得建设许可

• 合法情形：根据《建筑法》第七条，建筑工程开工前，建设单位需向建设行政主管部门申请施工许可证。若工厂已依法取得施工许可，则重建行为合法。
• 违法情形：未取得施工许可擅自开工的，属于违法施工行为，可能面临责令改正、罚款等处罚。若情节严重（如造成安全事故），还可能追究刑事责任。

4. 其他特殊情形

• 历史遗留问题：若工厂土地或建筑存在历史遗留问题（如未办理产权登记、规划手续不全等），需根据当地政策处理。部分地区可能允许补办手续后合法化，但需满足一定条件（如符合规划、无纠纷等）。
• 环保要求：若重建项目涉及环保问题（如排放污染物、占用生态保护红线等），需符合《环境保护法》等相关规定。否则可能面临环保部门处罚（如责令停产整治、罚款等）。

法律建议

1. 核查土地和规划手续：重建前，工厂应核查土地用途、规划许可等文件，确保重建项目符合规划要求。
2. 依法申请许可：若需重建，应依法向城乡规划主管部门和建设行政主管部门申请建设工程规划许可证和施工许可证。
3. 咨询专业律师：若对土地用途、规划许可等存在疑问，或涉及历史遗留问题、环保要求等复杂情形，建议咨询专业律师，确保重建行为合法合规。

总结：工厂在自有土地拆后重建是否违法，需结合土地用途、规划许可、建设许可等因素综合判断。若符合规划要求且依法取得相关许可，则合法；否则可能面临行政处罚甚至刑事责任。如有疑问，可直接向我咨询。