起诉行政机关行政行为违法确实是一个涉及多个法律环节且相对复杂的过程，但别担心，我会一步步为您详细解析。
一、明确起诉条件与主体资格
首先，您需要确认自己是否具备起诉的主体资格。根据《中华人民共和国行政诉讼法》，如果您认为行政机关的行政行为侵犯了您的合法权益，无论是作为行政行为的直接相对人，还是作为与行政行为有利害关系的公民、法人或其他组织，您都有权向人民法院提起诉讼。比如，若行政机关的处罚决定直接影响了您的财产权或人身权，您就具备起诉资格。
二、确定具体的行政行为
在起诉前，您必须明确要针对哪一个具体的行政行为提起诉讼。这可以是行政处罚（如罚款、吊销执照）、行政许可（如拒绝颁发许可证）或行政强制（如查封、扣押）等。详细记录该行政行为作出的时间、地点、具体内容及相关文书，这些将是后续诉讼的重要依据。
三、判断原告资格与利害关系
除了确认自己是行政相对人外，如果您是相关利害关系人，还需要证明该行政行为对您的权益产生了实际影响。这可能需要您提供一些证据来支持您的主张，比如行政行为导致的经济损失、生活困扰等。
四、选择有管辖权的法院
接下来，您需要确定哪个法院有管辖权。一般来说，由最初作出行政行为的行政机关所在地的人民法院管辖。如果案件经过复议，也可以由复议机关所在地的人民法院管辖。对于涉及不动产的行政诉讼，则由不动产所在地的人民法院管辖。正确选择管辖法院是确保诉讼顺利进行的关键。
五、准备并提交起诉材料
起诉状：这是诉讼的核心文件，需要写明原告和被告的基本信息、明确的诉讼请求（如请求确认行政行为违法、撤销行政行为等）、详细阐述事实和理由，以及说明行政行为为何违法及给您造成的损害。起诉状需一式多份，根据被告数量和法院要求准备。
证据材料：收集能支持您诉讼请求的证据，包括行政决定书、通知书等行政文书，以及相关照片、录音录像、证人证言、鉴定报告等。整理好证据清单，注明每份证据的名称、来源和证明内容。
身份证明：提供原告的身份证明，如身份证复印件或法人营业执照副本复印件等。
将准备好的起诉材料提交至有管辖权的人民法院立案窗口。法院会对材料进行初步审查，可能会要求您补充或修改材料。
六、参与诉讼过程
受理阶段：如果您的起诉符合立案条件，法院会予以受理并通知您缴纳诉讼费。如果不符合立案条件，法院会作出不予受理的裁定。
审理前的准备：法院会向被告送达起诉状副本，被告需在规定时间内提交答辩状及相关证据。双方可在法院规定时间内交换证据。
开庭审理：按照法院通知的开庭时间和地点准时参加庭审。庭审包括法庭调查、法庭辩论等环节，您需要清晰陈述事实、展示证据，并对被告的观点和证据进行质证和反驳。
裁判与执行：法院经过审理后会作出判决。如果判决支持您的诉讼请求而行政机关不履行，您可以在规定期限内申请法院强制执行。
七、注意举证责任与起诉期限
在行政诉讼中，举证责任主要由被告（行政机关）承担。被告需对其作出的行政行为提供相关证据和所依据的规范性文件。同时，您应在知道或应当知道作出行政行为之日起六个月内提起诉讼（经过行政复议的，则在收到复议决定书或复议期满之日起十五日内起诉）。特殊情况下可申请延长期限。
八、寻求专业帮助
鉴于行政诉讼过程的复杂性和严谨性，我建议您在整个过程中寻求专业律师的帮助。律师具备专业的法律知识和丰富的诉讼经验，能够更有效地维护您的合法权益。
希望这些详细的步骤和建议能帮助您顺利起诉行政机关行政行为违法，维护自己的合法权益。如果您在过程中遇到任何问题或需要进一步的帮助，请随时咨询。