若非法征地补偿款已经支付，首先应明确该支付行为是否合法有效，若确认非法，可采取以下措施：

1. 收集证据：

   • 保留所有与征地及补偿款支付相关的文件、通知、协议等书面材料。
   • 收集证人证言，特别是那些了解征地过程及补偿款支付情况的目击者或参与者。
   • 如有必要，可委托专业机构进行土地评估、测绘等，以获取更准确的土地价值及征地范围等证据。

2. 与相关部门沟通：

   • 向当地国土资源部门或征地管理部门反映情况，说明征地行为的非法性及补偿款支付的问题。
   • 要求相关部门对征地行为进行调查，并出具书面调查结果。
   • 如相关部门未依法履行职责，可向上级部门或监察机关投诉举报。

3. 申请行政复议或提起行政诉讼：

   • 若对征地行为的合法性或补偿款的支付有异议，可在法定期限内向作出征地决定的政府或上级政府申请行政复议。
   • 如对行政复议结果不满意，或未在法定期限内收到复议决定，可向人民法院提起行政诉讼，要求确认征地行为非法并撤销或变更补偿款支付决定。

4. 追回非法支付的补偿款：

   • 在行政复议或行政诉讼过程中，可要求相关部门或责任方返还非法支付的补偿款。
   • 如已造成损失，可要求赔偿因非法征地及补偿款支付所造成的经济损失。

5. 关注后续处理：

   • 密切关注征地行为的后续处理情况，确保相关部门依法履行职责，对非法征地行为进行纠正。
   • 如发现新的违法行为或线索，应及时向相关部门报告并配合调查。

在处理此类问题时，务必保持冷静和理性，依法维护自己的合法权益。如有任何疑问或需要进一步的法律帮助，请直接向我咨询。