若被监视居住6个月后最终被判无罪，您可以从以下几个方面来维护自身权益：
- 申请国家赔偿
- 法律依据：根据《中华人民共和国国家赔偿法》第十七条，行使侦查、检察、审判职权的机关以及看守所、监狱管理机关及其工作人员在行使职权时，对公民采取逮捕措施后，决定撤销案件、不起诉或者判决宣告无罪终止追究刑事责任的，受害人有取得赔偿的权利。监视居住虽不属于逮捕措施，但若在监视居住期间存在侵犯人身权的情形，如非法限制人身自由、使用械具等造成身体伤害或者死亡等，也可能符合国家赔偿的申请条件。此外，如果监视居住是错误采取的强制措施，且给您造成了损害，也可依法主张赔偿。
- 申请流程：您需要向作出监视居住决定的机关提出赔偿申请，一般需要提交赔偿申请书，写明受害人的基本情况、具体请求、事实根据和理由等内容，同时提供相关的证据材料，如监视居住决定书、无罪判决书等。该机关应当在收到申请之日起两个月内，作出赔偿决定。如果对赔偿决定不服，还可以在收到赔偿决定之日起三十日内向其上一级机关申请复议，复议机关应当在收到复议申请之日起两个月内作出复议决定。对复议决定仍不服的，可以在收到复议决定之日起三十日内向复议机关所在地的同级人民法院赔偿委员会申请作出赔偿决定。
- 要求消除影响、恢复名誉、赔礼道歉
- 适用情形：被错误监视居住可能会对您的个人名誉、社会评价等造成一定的负面影响。例如，周围的人可能会因为您被监视居住而对您产生误解、歧视等。在这种情况下，您有权要求相关机关通过适当的方式为您消除影响、恢复名誉、赔礼道歉。
- 实现方式：您可以与作出监视居住决定的机关进行沟通协商，要求其在一定范围内，如您所在的社区、工作单位等，发布声明或者采取其他合适的方式，澄清事实，消除不良影响。如果协商不成，您也可以通过法律途径，向人民法院提起民事诉讼，要求侵权机关承担相应的民事责任。
- 追究相关人员的违法责任（如果存在违法行为）
- 违法情形：如果在监视居住过程中，相关工作人员存在违法违规行为，如非法搜查、殴打、虐待等侵犯您人身权利的行为，或者违反规定使用械具、超期监视居住等，您有权追究其违法责任。
- 追究途径：您可以向该工作人员所在的机关或者其上级机关进行投诉举报，要求对其违法行为进行调查处理。如果构成犯罪的，您也可以向公安机关报案，要求依法追究其刑事责任。同时，对于因工作人员的违法行为给您造成的损失，您还可以要求其承担相应的民事赔偿责任。
被监视居住6个月后判无罪，您有多种途径来维护自己的合法权益。如果您在这个过程中遇到任何问题，都可以直接向我咨询。