设施农用地超过备案面积后，原则上不可以直接增加备案面积，需根据具体情况重新履行审批或备案手续。具体分析如下：

1. 法律与政策限制
   根据《土地管理法》《自然资源部关于规范设施农用地管理有关问题的通知》等规定，设施农用地的使用需严格遵循备案的面积、位置和用途。若实际使用面积超过备案范围，可能涉及以下法律风险：

   • 违法用地：超出部分可能被认定为未批先建，面临行政处罚（如责令退还土地、恢复原状、罚款等）；
     
   • 合同无效：若与村集体或农户签订的用地协议中未约定面积调整条款，超出部分可能因违反强制性规定而无效；
     
   • 项目合规性：设施农用地项目需符合农业发展规划，超面积使用可能被认定为改变用途，导致项目整体不合法。

2. 合法调整面积的路径
   若需扩大设施农用地规模，应通过以下程序办理：

   • 重新备案：向原备案机关（通常为县级自然资源部门）提交新增面积的申请，说明扩大用途的必要性（如生产规模扩大、技术升级等），并附具规划调整方案、环境影响评估等材料；
     
   • 审批手续：部分地区可能要求将超面积部分转为建设用地，需按建设用地审批流程办理农用地转用手续，缴纳相关税费；
     
   • 协议变更：与土地所有权人（村集体）重新签订补充协议，明确新增面积的使用期限、费用及违约责任。

3. 实务建议

   • 提前规划：在项目立项阶段，应充分评估用地需求，避免因面积不足导致后续违法风险；
     
   • 动态管理：若因客观原因需扩大面积，应及时与主管部门沟通，按程序补办手续，切勿自行扩建；
     
   • 合规审查：定期自查用地情况，确保实际使用与备案内容一致，避免因监管检查被处罚。

总结：设施农用地超备案面积后，不可直接增加，需通过重新备案或审批程序合法调整。建议操作前咨询当地自然资源部门，确保流程合规。如有具体案例或地区政策疑问，可进一步向我提问。