若您已实施套取农机报废补贴的行为并希望自首，核心结论是：应立即停止违法行为，主动向公安机关或相关农业机械管理部门投案，如实供述全部事实，并积极配合调查。以下是具体分析和建议：

一、自首的法律依据与程序

1. 法律依据
   根据《中华人民共和国刑法》第六十七条，犯罪后自动投案并如实供述罪行的，属于自首，可依法从轻或减轻处罚。套取农机报废补贴可能涉及诈骗罪（若以非法占有为目的虚构事实）或滥用职权罪（若为国家工作人员利用职务便利），自首是争取从宽处理的关键。

2. 自首程序

   • 选择投案机关：优先向当地公安机关经侦部门或农业机械管理局（负责农机补贴发放的部门）投案。
     
   • 提交材料：携带身份证、与补贴相关的合同、申请材料等证据，主动说明套取补贴的具体方式、金额及参与人员。
     
   • 如实供述：需完整交代行为过程，包括伪造报废证明、虚报农机信息等细节，避免隐瞒或谎报。

二、自首后的法律后果与应对

1. 从宽处理的可能性
   自首后，若认罪态度好、积极退赃（退还全部非法所得），可依据《刑法》第六十七条争取从轻或减轻处罚。例如，诈骗罪量刑起点为3年以下有期徒刑，自首并退赃可能降至缓刑或更轻处罚。

2. 需承担的责任

   • 刑事责任：若构成犯罪，可能面临罚金、有期徒刑等处罚。
     
   • 行政责任：即使不构成犯罪，农业机械管理部门可能依据《农业机械安全监督管理条例》等规定，处以罚款、吊销补贴资格等行政处罚。
     
   • 民事责任：需退还已领取的补贴款项，并可能赔偿因违法行为导致的损失。

三、自首前的准备与注意事项

1. 法律评估
   在投案前，建议通过书面形式整理行为经过、涉及金额及证据清单，确保供述逻辑清晰。若对行为定性存疑（如是否构成犯罪），可先向律师咨询（但自首决定需自行作出）。

2. 退赃与赔偿
   主动退还全部非法所得是争取从宽的重要情节。若已将补贴用于消费或投资，需尽快筹集资金退还，并保留转账记录等证据。

3. 配合调查的态度
   投案后需保持配合，避免对抗调查。例如，对询问的问题如实回答，不推诿责任，不试图转移或隐匿证据。

四、若犹豫是否自首的建议

若您对自首存在顾虑（如担心处罚过重），需明确：拖延或逃避调查可能导致量刑加重。根据司法实践，被动归案（如被警方传唤）与主动自首的量刑差异显著。建议权衡利弊后尽快行动。

最后提醒：法律问题具有复杂性，以上分析基于一般情况。若您需进一步了解自首后的具体程序或量刑预测，可直接向我提问，我会结合您的行为细节提供针对性建议。