当厂房出租遇到拖欠租金的情况时，出租人可以通过以下步骤来起诉并维护自身权益：
一、前期准备与友好协商
及时沟通：首先尝试与承租人进行友好沟通，了解拖欠租金的具体原因，看是否能够达成延期支付、分期支付或其他解决方案。
发送催告函：若沟通无果，出租人应正式向承租人发送催告函，明确告知拖欠租金的事实、金额及支付期限，并保留好送达凭证。这是后续法律程序中的重要证据。
二、收集证据并准备起诉材料
收集证据：出租人需要收集租赁合同、租金支付记录、催告函及送达凭证等相关证据，以证明双方存在租赁关系且承租人拖欠租金。
准备起诉状：起诉状需包含原被告的基本信息、诉讼请求（如要求被告支付拖欠的租金及违约金等）、事实与理由（详细阐述租赁情况、拖欠租金的原因等）。
三、向法院提起诉讼
提交材料：将准备好的起诉状及相关证据提交给具有管辖权的法院。
等待受理与开庭：法院受理后，会合理安排开庭时间。双方需按时参加庭审，并在庭审过程中就案件事实进行陈述和辩论。
四、法院裁判与执行
法院裁判：法院会依据双方提供的证据及法律规定作出裁判。若判决出租人胜诉，承租人需履行判决义务。
申请强制执行：若承租人在规定期限内未履行判决义务，出租人可以向法院申请强制执行。法院将依法查封、扣押、拍卖承租人的财产，以清偿拖欠的租金及费用。
五、其他注意事项
审查合同条款：在处理拖欠租金问题前，出租人应仔细审查租赁合同的条款，特别是关于租金支付、违约责任、争议解决等方面的约定。
财产保全：在提起诉讼前或诉讼过程中，出租人可以申请法院对承租人的财产进行保全，以防止其转移或隐匿财产。
寻求专业帮助：如果出租人对法律程序不熟悉或担心无法有效维护自己的权益，可以寻求专业律师的帮助。
综上所述，当厂房出租遇到拖欠租金的情况时，出租人应通过友好协商、收集证据、向法院提起诉讼等步骤来维护自身权益。在整个过程中，出租人应保留好相关证据，并关注法律程序的进展。