关于执行款优先抵充费用、利息、主债务的清偿顺序，这是一个在法律执行程序中经常遇到的问题，其处理原则在多部法律及司法解释中均有明确规定。以下是对此问题的详细解答：
一、基本原则
在执行程序中，当执行款不足以清偿全部债务时，清偿顺序的确定遵循“有约定从约定，无约定从法定”的原则。如果债权人和债务人之间对于清偿顺序有明确且合法的书面约定，则应按照该约定进行清偿。如果没有约定，则按照法律规定的顺序进行。
二、法定清偿顺序
根据《最高人民法院关于适用〈中华人民共和国合同法〉若干问题的解释（二）》第二十一条等相关司法解释的规定，在没有约定的情况下，执行款的清偿顺序通常为：
实现债权的有关费用：这包括评估费、鉴定费、拍卖费、律师费（如有明确约定且合理）、执行过程中实际支出的差旅费等与实现债权直接相关的费用。
利息：包括约定利息和法定利息。约定利息是指合同中明确约定的利息；法定利息则是指如迟延履行期间应当加倍支付的债务利息等，这部分利息是对债务人迟延履行金钱债务的一种惩罚。
主债务：即原本的债务本金部分。
三、特殊情况
虽然一般情况下遵循“先费用、再利息、后本金”的清偿顺序，但在某些特殊情况下，如生效法律文书另有规定或基于特定法律条款，可能会采用不同的清偿顺序。例如，在某些情况下，可能会遵循“先本后息”的原则，即本金优先于利息得到清偿。这通常取决于具体的法律规定或法律文书的约定。
四、法律依据
执行款清偿顺序的规定主要来源于《中华人民共和国民法典》、《中华人民共和国民事诉讼法》以及相关司法解释。这些法律法规为执行程序中的清偿顺序提供了明确的法律依据，确保了债权人和债务人的合法权益得到妥善保护。
五、实际应用
以一起借款合同纠纷案件为例，假设甲欠乙100万元本金，约定年利率为10%，因甲逾期未还进入执行程序。在执行过程中产生了5万元的评估费，且执行到位了120万元执行款。根据“先费用、再利息、后本金”的原则，应首先支付5万元评估费，再支付10万元利息（100万元×10%），剩余105万元用于清偿本金。
综上所述，执行款优先抵充费用、利息、主债务的清偿顺序是一个复杂而重要的问题，需要根据具体情况并结合相关法律法规进行综合判断。在实际操作中，建议当事人咨询专业律师以获取更准确的法律意见和指导。