对于采用虚假证明文件办理工程竣工验收备案的行为，根据相关法律法规，将受到严格的处罚。以下是对该问题的详细解答：

核心结论：建设单位若采用虚假证明文件办理工程竣工验收备案，工程竣工验收将被认定为无效，备案机关将责令停止使用，并重新组织竣工验收。同时，建设单位将面临20万元以上50万元以下的罚款。若构成犯罪，还将依法追究刑事责任。

具体法规依据：

• 根据《房屋建筑工程和市政基础设施工程竣工验收备案管理暂行办法》（2009年10月19日中华人民共和国住房和城乡建设部令第2号自公布之日起施行）第十一条明确规定，建设单位采用虚假证明文件办理工程竣工验收备案的，将受到上述处罚。

处罚流程：

1. 立案责任：对符合立案条件的，备案机关将在发现违法行为之日起7日内立案，并按要求填写《行政案件立案审批表》，履行审批手续。
2. 调查责任：执法人员将进行现场检查、询问和拍照，调查时不得少于两人，并应出示执法证件。同时，将听取当事人辩解陈述，并填写相关笔录和物证照片。
3. 审查责任：行政执法人员经过调查取证后，认为案件事实已经调查清楚，将填写《行政案件处理审批表》，履行审批手续，并下达《行政处罚事先告知通知书》。若当事人要求听证，将下达《行政处罚听证通知书》，并按时举行听证。
4. 告知责任：作出行政处罚决定前，将制作《行政处罚事先告知书》送达当事人，告知违法事实及其享有的陈述、申辩等权利。
5. 决定责任：制作行政处罚决定书，载明行政处罚告知、当事人陈述申辩或者听证情况等内容。若当事人对行政处罚不服，可依法申请行政复议或提起行政诉讼。
6. 送达责任：行政处罚文书将按照法定方式送达当事人。
7. 执行责任：若当事人逾期不履行行政处罚决定，将由执法科室申请人民法院强制执行。

法律责任： 若行政机关在实施行政处罚过程中存在违法行为，如没有法定的行政处罚依据、擅自改变行政处罚种类或幅度、违反法定的行政处罚程序等，将由上级行政机关或者有关部门责令改正，并可以对直接负责的主管人员和其他直接责任人员依法给予行政处分。

综上所述，采用虚假证明文件办理工程竣工验收备案的行为将受到严厉的法律制裁。因此，建议建设单位在办理工程竣工验收备案时，务必提供真实、有效的证明文件，以避免不必要的法律风险。