农村土地权属争议调查处理程序中若存在违法行为，通常涉及以下几个方面：
调查程序不合法：
- 未依法组成调查组：根据相关规定，农村土地权属争议的调查处理应当由县级以上人民政府国土资源行政主管部门负责，并依法组成调查组进行调查。如果未依法组成调查组，或者调查组成员不具备相应的资格或条件，即构成程序违法。
- 调查过程不公开透明：调查过程应当公开透明，允许争议双方参与并陈述意见。如果调查过程缺乏公开性，如未通知争议双方参与调查、未听取双方意见等，也属于程序违法。
证据收集不合法：
- 非法取证：在调查过程中，如果采用非法手段收集证据，如威胁、利诱、欺骗等，或者收集的证据与争议事项无关，这些证据将被视为非法证据，不得作为认定事实的依据。
- 证据不足或证据链不完整：如果调查过程中收集的证据不足以支持争议事实的认定，或者证据之间无法形成完整的证据链，也可能导致调查处理程序违法。
处理决定不合法：
- 超越职权范围作出处理决定：县级以上人民政府国土资源行政主管部门在调查处理农村土地权属争议时，必须在其职权范围内行事。如果超越职权范围作出处理决定，如将争议土地划归一方所有而未经法定程序审批，即构成程序违法。
- 处理决定缺乏事实依据或法律依据：处理决定必须基于充分的事实依据和法律依据作出。如果处理决定缺乏事实依据或法律依据，或者依据的法律条文错误、适用不当，也将导致处理决定违法。
未依法履行告知义务：
- 未告知争议双方权利义务：在调查处理过程中，国土资源行政主管部门应当依法告知争议双方其享有的权利和应履行的义务。如果未履行告知义务，如未告知争议双方有权申请回避、有权陈述意见等，即构成程序违法。
- 未告知救济途径：如果处理决定对争议双方不利，国土资源行政主管部门应当告知其享有申请行政复议或提起行政诉讼的救济途径。如果未履行告知义务，也将导致程序违法。
针对上述违法行为，争议双方可以采取以下措施：
- 申请行政复议：如果争议双方认为国土资源行政主管部门的调查处理程序违法，可以在知道该具体行政行为之日起六十日内向上一级国土资源行政主管部门或本级人民政府申请行政复议。
- 提起行政诉讼：如果争议双方对行政复议结果不服，或者未在规定期限内申请行政复议，可以在知道或应当知道具体行政行为之日起六个月内向人民法院提起行政诉讼。
在处理农村土地权属争议时，建议争议双方注意以下几点：
- 保留好相关证据：包括土地权属证书、土地使用协议、土地交易记录等，以便在争议发生时提供有力支持。
- 积极参与调查过程：在调查过程中，争议双方应积极参与并陈述意见，确保自己的权益得到充分保障。
- 及时寻求法律帮助：如果争议双方对调查处理程序或处理结果有异议，应及时寻求专业律师的法律帮助，以便更好地维护自己的合法权益。
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