设施农用地超规模使用属于违规行为，需根据具体情况采取整改、处罚或补办手续等措施。以下是具体分析：

1. 违规性质与后果
   设施农用地虽用于农业生产，但需严格遵循规划用途和面积限制。超规模使用可能涉及改变土地用途、违反土地管理法规（如《土地管理法》第四十四条），面临行政处罚（如责令退还土地、限期拆除、罚款）甚至刑事责任（若构成非法占用农用地罪）。

2. 处理方式

   • 主动整改：若超规模部分未造成严重后果，可立即停止违规行为，拆除多余设施，恢复土地原状，并向自然资源部门提交整改报告，争取从轻处理。
     
   • 补办手续：若超规模部分符合规划且确需保留，可向当地农业农村、自然资源部门申请调整用地规模或补办用地手续（如编制补充方案、缴纳土地复垦费等），但需以政策允许为前提。
     
   • 接受处罚：若已构成违法事实，需配合行政机关调查，接受处罚（如罚款、没收违法所得），并落实整改要求，避免进一步扩大损失。

3. 预防建议

   • 前期规划：使用设施农用地前，务必核实土地性质、规划用途及面积限制，确保符合政策要求。
     
   • 合规使用：严格按照批准的用途和规模使用土地，避免擅自扩建或改变用途。
     
   • 动态监管：定期自查用地情况，如遇政策调整或规划变更，及时调整使用方案。

提示：设施农用地管理政策因地区而异，具体操作需以当地农业农村、自然资源部门要求为准。若涉及复杂情况（如历史遗留问题、多部门协调），建议直接向我咨询，我将结合地方政策提供针对性方案。