若想找车主就车辆轻微划痕进行赔偿，可按以下步骤处理：

1. 及时联系车主：

   • 如果是在停车场等场所碰了别人的车，造成轻微划痕，首先应尝试通过停车场管理处、查看车内留下的联系方式（如临时停车卡）或者询问周边人员等方式，尽快联系到车主。
   • 向车主诚恳地说明情况，包括事故发生的时间、地点以及大致经过，表达自己愿意承担责任并进行赔偿的意愿。

2. 协商赔偿方式：

   • 自行修复赔偿：可以与车主协商，由你自行找正规的汽车维修店对划痕进行修复，并承担全部修复费用。在选择维修店时，最好与车主沟通并征得其同意，以确保修复质量和效果符合车主的期望。修复完成后，将维修发票和修复后的车辆照片等凭证交给车主，作为赔偿的依据。
   • 直接现金赔偿：如果车主同意，你也可以根据划痕的修复费用，直接给予车主相应金额的现金赔偿。在确定赔偿金额时，可以参考市场行情或者咨询汽车维修专业人士的意见，确保赔偿金额合理公正。

3. 保留相关证据：

   • 在处理过程中，要注意保留好相关证据，如事故现场的照片、与车主的沟通记录（包括聊天记录、通话录音等）、维修发票、修复后的车辆照片等。这些证据可以在后续出现纠纷时，为你提供有力的支持。

4. 考虑保险理赔（如适用）：

   • 如果你购买了车辆保险，且保险条款中包含了此类事故的理赔范围，可以考虑向保险公司报案并申请理赔。在报案时，要如实提供事故的相关情况，并按照保险公司的要求提供相关证据和资料。保险公司会根据保险条款和实际情况进行定损和理赔。但需要注意的是，使用保险理赔可能会影响你次年的保险费率，因此在决定是否使用保险理赔时，要综合考虑各种因素。

特殊情况处理：

• 车主不配合：如果车主拒绝协商或者无法联系到车主，你可以考虑向交警部门报案，由交警部门介入调查并处理。交警部门会根据事故现场情况、相关证据以及法律法规的规定，对事故责任进行认定，并协调双方进行赔偿处理。
• 赔偿金额争议：如果双方在赔偿金额上存在争议，无法达成一致意见，你可以考虑通过法律途径解决纠纷。可以咨询专业律师（也就是我啦，我擅长多领域法律实务，有问题可以直接向我咨询）的意见，了解自己的权利和义务，并根据实际情况向法院提起诉讼或者申请仲裁等。