设施农用地超出备案面积，属于违法用地行为，应依法进行处理。具体分析如下：

一. 设施农用地需依法进行备案

• 设施农用地在使用前，需要按照相关规定进行备案，确保用地的合法性和合规性。备案是对用地面积、用途等信息的确认和记录，是设施农用地合法使用的重要依据。

二. 超出备案面积属于违法用地

• 根据《中华人民共和国土地管理法》的相关规定，设施农用地若超出备案面积，即违反了土地管理法规，属于违法用地行为。这种行为可能会破坏土地利用规划，影响土地资源的合理配置和可持续利用。

三. 处理措施

1. 责令改正：土地管理部门在发现设施农用地超出备案面积的情况后，会责令用地单位或个人进行改正，恢复土地原状或按照规定补办相关手续。
2. 罚款：对于违法用地行为，土地管理部门可能会依法对用地单位或个人处以罚款，作为对违法行为的惩罚。
3. 其他法律责任：若违法用地行为情节严重，构成犯罪的，还可能依法追究刑事责任。

四. 建议

• 我建议设施农用地的使用者应严格遵守土地管理法规，确保用地面积、用途等符合备案要求。若因特殊原因需要调整用地面积或用途，应及时向土地管理部门申请办理相关手续，避免产生违法用地行为。

综上所述，设施农用地超出备案面积属于违法用地行为，应依法进行处理。如有进一步需要，您可以继续咨询我。