具体行政行为的违法要素主要包括以下几个方面：

1. 主体违法：

   • 无权限：即越权主体实施了根本就不具有职权的行为。
   • 纵向越权：上下级行政机关之间，下级或上级超越权限行使了另一方的职权。
   • 横向越权：行政机关超越了本机关主管范围而行使了其他行政机关的职权。
   • 地域越权：行政机关超越了管辖范围作出的行政行为。

2. 事实依据违法：

   • 事实不清、证据不足。
   • 依据不真实的证据作出具体行政行为。
   • 依据没有关联性的证据作出具体行政行为。
   • 依据刑讯逼供等非法手段获取的证据作出具体行政行为。

3. 适用法律依据违法：

   • 将行为人的合法行为认定为违法行为。
   • 应适用甲法，却适用了乙法。
   • 应适用甲法的某些条款，却适用了甲法的其他条款。
   • 适用了尚未生效或已经失效的法律法规。
   • 适用了被处理行为地以外的地方性法规及地方政府规章。
   • 未引用具体法律条款。

4. 违反法定程序：

   • 程序是行政主体在开展行政活动时所要遵守的步骤、顺序、方式以及时限。行政机关行使职权时必须遵守法定程序，程序合法是判断行政行为是否正确合法的重要标准。

5. 明显不合理（显失公正、滥用职权）：

   • 行政机关在行使行政裁量权时明显违背了正常人正常的理性，明显超越了合理性的界限。滥用职权与明显不合理为一体两面，滥用职权侧重于客观层面，明显不合理侧重于主观层面，均为行为违法的表现。在实践中滥用职权的主要表现有：不正当的考虑、故意延迟和不作为、不一致的解释和反复无常等。

综上所述，具体行政行为的违法要素涉及主体、事实依据、法律依据、程序以及合理性等多个方面。在判断具体行政行为是否违法时，需要综合考虑这些因素，并依据相关法律法规进行具体分析。如果您有具体的行政行为需要评估，或对相关法律问题有疑问，可以直接向我咨询。