当监察机关调取外文证据材料时，应当遵循一定的程序和规范以确保证据的合法性和有效性。根据《监察法实施条例》的相关规定，具体处理流程如下：

首先，监察机关在调取外文证据材料后，需要确认这些材料将作为证据使用。一旦确认，这些外文材料必须交由具有专业资质和翻译能力的机构或人员进行翻译。这是为了确保翻译的准确性和专业性，避免因翻译错误或不准确而导致证据失效或产生误解。

其次，翻译完成后的中文译本应当加盖翻译机构的公章。这一步骤是翻译合法性和有效性的重要证明，也是确保翻译内容真实、准确的法律保障。加盖公章意味着翻译机构对其翻译结果负责，并承担相应的法律责任。

最后，经过翻译并加盖公章的中文译本将作为正式的证据材料，用于监察机关的调查、审理等程序。在处理过程中，监察机关应严格遵守相关法律法规和程序规定，确保证据的合法性、有效性和公正性。

综上所述，监察机关在调取外文证据材料时，应当交由具有资质的机构和人员出具中文译本，并确保中文译本加盖翻译机构公章，以确保证据的合法性和有效性。这一流程是监察机关依法履职、保障公正的重要一环。