当个人工厂拖欠工资时，您可以采取以下步骤来维护自己的合法权益：
一、友好协商
首先，尝试与工厂负责人进行面对面的沟通，了解拖欠工资的具体原因，并明确表达自己的诉求。在沟通过程中，请务必保持冷静和理性，并妥善保留所有与欠薪有关的证据，如聊天记录、通话录音、协商会议纪要等。这些证据在后续维权过程中将起到关键作用。
二、投诉举报
如果直接沟通效果不佳，您可以向当地的劳动监察部门提出投诉。投诉时需携带身份证、劳动关系证明材料（如劳动合同、工资条、工作证等）以及拖欠工资的相关证据。劳动监察部门将对此进行调查，并在确认事实后责令用人单位限期支付工资；逾期不支付的，还可责令用人单位加付赔偿金。
此外，您还可以向当地政府的人力资源和社会保障局、信访部门等反映情况，寻求进一步的帮助和支持。
三、申请劳动仲裁
如果投诉举报仍未能解决问题，您可以向当地的劳动争议仲裁委员会申请仲裁。申请时需提交仲裁申请书、身份证复印件、劳动关系证明材料以及拖欠工资的证据等。仲裁申请书应详细载明双方的基本信息、仲裁请求、事实和理由等。
劳动争议仲裁委员会将在收到申请后五日内决定是否受理，并通知申请人。受理后，仲裁庭将依法对案件进行审理，包括开庭通知、举证质证、辩论等环节。在作出裁决前，仲裁庭会先行调解；调解不成或调解书送达前一方反悔的，仲裁庭将及时作出裁决。
请注意，劳动争议申请仲裁的时效期间为一年，自您知道或应当知道其权利被侵害之日起计算。
四、提起诉讼
如果您对仲裁裁决不服（终局裁决除外），可以在收到仲裁裁决书之日起十五日内向人民法院提起诉讼。在某些特定情况下，如工厂向您出具了工资欠条且诉讼请求不涉及劳动关系其他争议的，您可以直接向人民法院提起诉讼，按照普通民事纠纷处理。
向法院提起诉讼后，您需要提交起诉状和相关证据。法院受理后会安排开庭审理，并根据审理情况作出判决。如果工厂不履行判决，您可以在规定的时间内向法院申请强制执行。
五、寻求法律援助
如果您经济困难且符合法律援助条件，可以向当地的法律援助中心申请免费的法律帮助。这将有助于您更好地维护自己的合法权益。
六、其他注意事项
综上所述，当个人工厂拖欠工资时，您应通过协商、投诉举报、劳动仲裁和诉讼等途径来维护自己的合法权益。希望这些建议能对您有所帮助。