司机自己取消订单可能面临平台处罚和法律责任。具体处罚措施取决于司机所属平台的规定以及取消订单的具体情况。以下是对这一问题的详细分析：
一. 平台处罚
信誉分扣除与罚款：
- 多数网约车平台设有司机信誉分系统，司机无故取消订单会导致信誉分被扣除。例如，高德打车平台规定，司机无故取消订单会扣除信誉分，严重情况下甚至可能面临十元的罚款。
接单优先级降低或暂停服务：
- 信誉分被扣除后，司机的接单优先级可能会降低，影响其接单量。在某些平台上，若司机多次违规取消订单，还可能面临暂停服务的处罚。例如，飞嘀打车平台规定，警告后再次违反规则的司机，平台将对其暂停服务1-7天。
永久停止服务：
- 对于情节特别严重的违规行为，平台有权永久停止司机的服务。这意味着司机将无法在该平台上继续从事网约车服务。
二. 法律责任
合同违约：
- 根据《中华人民共和国民法典》第四百九十一条，乘客提交订单成功时，与司机之间的运输合同即成立。若司机在此后取消订单，则构成对合同的违约。虽然法律未明确规定司机取消订单的处罚，但根据合同法原则，违约方应承担相应的违约责任。如因司机取消订单导致乘客损失，乘客有权要求司机赔偿。
行政处罚：
- 如果司机的行为触犯了相关法律法规，还可能面临行政处罚。例如，根据《中华人民共和国治安管理处罚法》第四十二条，如果司机在取消订单过程中有公然侮辱乘客或者捏造事实诽谤乘客的行为，可能面临五日以下拘留或者五百元以下罚款的处罚。
刑事责任：
- 在极少数情况下，如果司机的行为构成犯罪（如涉及侮辱罪、诽谤罪等），将受到《刑法》的相应惩处。
三. 避免处罚的建议
- 合理规划行程：司机在接单前应合理规划行程，确保有足够的时间和资源完成订单，避免因自身原因导致的取消订单。
- 与乘客沟通：若因特殊情况需取消订单，司机应及时与乘客沟通，说明原因并寻求谅解。在取得乘客同意后，可协商取消订单，以减少纠纷和处罚。
- 遵守平台规则：司机应熟悉并遵守各网约车平台的规则和政策，以降低因违规操作而受到的处罚风险。
综上所述，司机自己取消订单可能面临平台处罚和法律责任。因此，我建议司机在接单前充分考虑自身能力和行程安排，确保能够按时履行订单。如遇特殊情况无法履行订单，应及时与乘客和平台沟通协商处理。