面对个人厂房合同欺骗的问题，您可以按照以下步骤来处理，以维护自己的合法权益：

一、确认合同欺骗事实

首先，您需要仔细审查厂房租赁或买卖合同的所有条款，以及整个交易过程，确认是否存在对方故意隐瞒重要信息、提供虚假陈述或违反合同约定等欺骗行为。例如，对方可能隐瞒了厂房的产权问题、存在纠纷、实际面积与合同不符等关键信息。同时，收集所有与交易相关的证据，如合同文本、沟通记录（邮件、短信、聊天记录等）、付款凭证、厂房照片或视频等，这些证据将在后续维权过程中起到关键作用。

二、尝试协商解决

在确认合同欺骗事实后，您应第一时间与对方进行沟通，明确指出其欺骗行为，并提出合理的诉求，如撤销合同、退款、赔偿损失等。在协商过程中，保持冷静和理性，避免情绪化的表达影响协商效果。如果双方能够达成和解，务必签订书面协议，明确解决方案及后续权利义务，以防再次发生纠纷。

三、寻求外部调解

如果协商无果，您可以考虑寻求外部调解。这包括向当地的人民调解委员会申请调解，或者针对厂房租赁或买卖合同纠纷，向相关的行业协会（如房地产行业协会）申请调解。这些机构通常具有专业的调解人员和丰富的调解经验，能够帮助双方达成和解协议。在申请调解时，按照调解机构的要求提交相关材料，并积极配合调解工作。

四、行政投诉与监管

根据合同性质和涉及领域，您还可以向相应的行政主管部门投诉。例如，如果涉及厂房的产权问题或存在欺诈行为，您可以向当地的市场监督管理部门或房地产管理部门投诉。行政主管部门有权调查并处罚违法行为，保护您的合法权益。

五、采取法律途径解决

1. 仲裁：如果合同中约定了仲裁条款，您可以按照约定向仲裁机构提交仲裁申请，遵循仲裁程序进行审理和裁决。仲裁裁决具有终局性，可向法院申请强制执行。

2. 诉讼：如果没有仲裁条款或仲裁无法解决问题，您可以向有管辖权的法院提起诉讼。在诉讼过程中，您需要准备充分的诉讼材料，包括起诉状、证据清单等，并按照法院程序参与审理和判决。如果对方的行为涉嫌犯罪，如合同诈骗罪，您还应及时向公安机关报案，公安机关将依法进行调查取证，并根据调查结果决定是否立案侦查。

六、专业法律支持与消费者保护

在整个维权过程中，建议您咨询专业律师，以获取针对性的法律意见和支持。律师可以帮助您分析合同条款、评估证据效力、制定维权策略等。同时，您也可以联系消费者保护组织，了解更多维权信息和支持。

七、后续防范措施

在处理完合同欺骗问题后，您要认真总结经验教训，分析自己在合同签订和履行过程中存在的不足之处。在今后的交易中，加强风险防范意识，对对方的信誉和资质进行充分调查了解；仔细阅读合同条款，确保合同内容明确、具体、合法；在合同履行过程中，及时关注对方的履约情况，发现问题及时采取措施。

总之，面对个人厂房合同欺骗的问题，您应通过确认事实、协商解决、寻求调解、行政投诉、仲裁诉讼等多种途径来维护自身权益，并在整个过程中注重证据收集、及时行权和专业支持。