行政机关若要作出决定要求村民返还补偿款，通常需要遵循以下法定程序：

1. 调查取证
   行政机关需先对补偿款的发放情况进行全面调查，收集相关证据材料，包括但不限于补偿协议、支付凭证、村民领取记录等。若发现补偿款发放存在错误（如重复发放、不符合条件发放等），需固定证据以支撑后续程序。

2. 内部审查与决定
   行政机关应依据调查结果，通过内部会议或专门程序审查是否符合返还条件。若确认需返还，需制作书面决定文件，明确返还金额、期限及法律依据（如《行政处罚法》《财政违法行为处罚处分条例》等），并加盖公章。

3. 送达与告知权利
   决定作出后，行政机关需将《返还补偿款决定书》依法送达村民，并告知其享有陈述、申辩、申请行政复议或提起行政诉讼的权利。送达方式需符合《民事诉讼法》关于送达的规定（如直接送达、留置送达、邮寄送达等）。

4. 执行与监督
   若村民在法定期限内未履行返还义务，行政机关可依法申请法院强制执行。同时，需建立执行监督机制，确保程序合法性，避免因执行不当引发纠纷。

特殊情形说明：

• 补偿款性质影响程序：若补偿款涉及土地征收、拆迁等特定领域，还需符合《土地管理法》《国有土地上房屋征收与补偿条例》等专项法规的程序要求。
  
• 村民异议处理：若村民对返还决定提出异议，行政机关需重新审查证据，必要时举行听证会，确保程序公正。
  

温馨提示：行政程序合法性直接影响决定效力，若程序存在瑕疵（如未告知权利、证据不足等），村民可能通过复议或诉讼撤销决定。如有具体案件细节需进一步分析，可直接向我咨询。