结论：法人走逃且不配合税务稽查时，税务机关会采取一系列措施应对，而家属一般不会因法人走逃不配合税务稽查这一行为本身直接承担责任，但在特定情况下可能面临一定风险。以下为你详细分析：

税务机关针对法人走逃不配合税务稽查的处理措施

1. 公告送达文书 税务机关在无法直接联系到法人进行税务稽查相关文书送达时，会采取公告送达的方式。通过在税务机关公告栏、官方网站等指定媒介发布公告，自公告之日起满一定期限（通常为30日），即视为送达。这样确保税务稽查程序能够继续推进，不会因法人失联而停滞。
2. 核定应纳税额 如果法人走逃导致税务机关无法准确查账，税务机关有权根据《税收征收管理法》及其实施细则等相关规定，按照合理的方法核定其应纳税额。例如，可以参照当地同类行业或者类似行业中经营规模和收入水平相近的纳税人的税负水平来核定；也可以按照营业收入或者成本加合理的费用和利润的方法核定等。
3. 实施税收保全和强制执行措施 若法人存在明显的税收违法行为且不配合稽查，税务机关在满足一定条件时，可以对其采取税收保全措施，如冻结其银行存款、查封、扣押其商品、货物或者其他财产等。如果法人仍未履行纳税义务，税务机关可以进一步采取强制执行措施，依法拍卖或者变卖所查封、扣押的财产，以拍卖或者变卖所得抵缴税款。
4. 移送公安机关追究刑事责任 如果法人的行为涉嫌构成逃税罪等税收犯罪，税务机关会将案件移送公安机关立案侦查。根据《刑法》规定，纳税人采取欺骗、隐瞒手段进行虚假纳税申报或者不申报，逃避缴纳税款数额较大并且占应纳税额百分之十以上的，处三年以下有期徒刑或者拘役，并处罚金；数额巨大并且占应纳税额百分之三十以上的，处三年以上七年以下有期徒刑，并处罚金。

家属可能承担责任的情况

1. 共同实施违法行为 如果家属与法人共同参与了逃避纳税义务等违法行为，例如协助法人伪造、变造账簿、记账凭证，或者在税务稽查过程中提供虚假证明材料等，那么家属将与法人构成共同违法或犯罪，需要承担相应的法律责任。在这种情况下，家属可能会被认定为共犯，面临与法人相似的行政处罚或刑事处罚。
2. 继承财产范围内的责任 如果法人因走逃不配合税务稽查而存在未缴纳的税款等债务，在其死亡后，家属如果继承了法人的财产，那么家属需要在继承财产的范围内承担偿还税款等债务的责任。不过，如果家属放弃继承法人的财产，则无需承担此类责任。

建议：如果遇到法人走逃不配合税务稽查的情况，相关利益方应积极与税务机关沟通，了解具体情况并配合处理。若家属担心可能涉及法律责任，可以整理好相关情况向我详细咨询，以便准确评估风险并采取合适的应对措施。