跟踪偷拍行为的处罚需根据具体情节和造成的后果来判定，可能涉及行政处罚或刑事处罚。具体分析如下：
行政处罚层面：
- 如果跟踪偷拍行为尚未构成犯罪，但侵犯了他人的隐私权或扰乱了公共秩序，根据《中华人民共和国治安管理处罚法》的相关规定，可能会受到行政处罚。例如，偷窥、偷拍、窃听、散布他人隐私的，处五日以下拘留或者五百元以下罚款；情节较重的，处五日以上十日以下拘留，可以并处五百元以下罚款。
刑事处罚层面：
- 如果跟踪偷拍行为情节严重，触犯了刑法，则可能构成犯罪。例如，非法使用窃听、窃照专用器材，造成严重后果的，根据《中华人民共和国刑法》的规定，可能会被处以二年以下有期徒刑、拘役或者管制。
- 另外，如果跟踪偷拍行为伴随着其他恶劣情节，如多次实施、造成被害人严重精神损害或社会影响恶劣等，还可能构成其他更严重的犯罪，如寻衅滋事罪等，从而面临更严厉的刑事处罚。
额外提醒：
- 跟踪偷拍行为不仅可能面临法律处罚，还会对被害人的隐私权、名誉权等造成严重侵害，甚至可能导致被害人出现心理问题或社会功能受损。
- 如果您或他人遭遇了跟踪偷拍行为，应立即报警并保留好相关证据，以便警方能够及时介入调查并依法处理。
建议：
- 尊重他人的隐私权和人格尊严，不进行任何形式的跟踪偷拍行为。
- 如果您对相关法律问题有疑问或需要进一步的法律帮助，可以直接向我咨询，我会根据您的具体情况提供详细的法律解答和建议。