结论：在车辆与行人发生轻微剐蹭，且车主不愿意垫付体检费用的情况下，行人可以采取以下措施来维护自己的合法权益。
一、法律背景与责任划分
交通事故责任认定：
- 根据《中华人民共和国道路交通安全法》的相关规定，发生交通事故后，应立即停车，保护现场，并迅速报告执勤的交通警察或者公安机关交通管理部门。交通警察会根据现场勘查、调查取证等，出具交通事故责任认定书，明确双方的责任比例。
赔偿义务：
- 根据责任认定书，责任方（在此情况下为车主）有义务对受害方（行人）因事故造成的损失进行赔偿。这包括医疗费、误工费、护理费等合理费用。
二、车主不愿垫付体检费用的处理
与车主协商：
- 行人可以首先尝试与车主进行友好协商，说明体检费用的必要性和合理性，争取车主的理解并同意垫付。
自行垫付并保留证据：
- 如果协商无果，行人可以选择自行垫付体检费用，并务必保留好所有相关的医疗发票、诊断证明等证据材料。这些证据在后续的赔偿请求中至关重要。
通过法律途径解决：
- 调解：行人可以向当地的交通事故调解委员会申请调解，由调解委员会组织双方进行调解，以达成赔偿协议。
- 诉讼：如果调解不成，行人可以向人民法院提起民事诉讼，要求车主赔偿因事故造成的损失，包括体检费用。在诉讼过程中，行人需要提交充分的证据来证明自己的损失和车主的责任。
三、可能面临的法律后果
车主责任：
- 如果车主被认定对事故负有责任，且拒绝赔偿行人的合理损失，车主可能面临法律制裁，包括被强制执行赔偿、承担诉讼费用等。
行人权益：
- 行人作为受害方，有权要求车主赔偿因事故造成的损失。如果行人选择通过法律途径解决，且证据充分，行人有望获得法院的支持，获得应有的赔偿。
四、建议与注意事项
及时报警并保护现场：
- 发生事故后，行人应立即报警并保护现场，以便交通警察进行勘查和调查取证。
保留好所有证据：
- 行人应保留好所有与事故相关的证据材料，包括医疗发票、诊断证明、交通事故责任认定书等。
理性维权：
- 在处理事故和赔偿问题时，行人应保持理性，避免与车主发生不必要的冲突。通过合法途径维护自己的权益是最有效的方式。
咨询专业律师（此处虽为常规建议，但根据约束条件调整表述）：
- 如果行人在处理事故和赔偿问题过程中遇到任何疑问或困难，可以直接向我咨询，我会根据具体情况提供专业的法律建议和帮助。
综上所述，行人面对车主不愿垫付体检费用的情况时，应通过合法途径来维护自己的权益。希望这些建议能对您有所帮助。