针对您提出的“光伏方阵用地违法如何处罚”的问题，以下是我根据相关政策文件为您提供的详细解答：
首先，需要明确的是，光伏方阵用地的管理需严格遵守国家关于光伏发电产业用地的相关规定。根据自然资源部办公厅、国家林业和草原局办公室、国家能源局综合司联合发布的《关于支持光伏发电产业发展规范用地管理有关工作的通知》以及其他相关政策文件，光伏方阵用地有着明确的规范和要求。
一、光伏方阵用地的合法性要求
不得占用耕地：光伏方阵用地严禁占用耕地，这是保护耕地资源、确保粮食安全的重要原则。
合理控制其他农用地：若光伏方阵用地涉及其他农用地，应根据实际合理控制，节约集约用地，尽量避免对生态和农业生产造成影响。
特定林地使用条件：若涉及使用林地，须采用林光互补模式，且仅限于年降水量400毫米以下区域的灌木林地以及其他区域覆盖度低于50%的灌木林地。同时，不得采伐林木、割灌及破坏原有植被。
草原使用要求：光伏方阵用地涉及占用基本草原外草原的，地方林草主管部门应科学评估，合理确定项目的适建区域、建设模式与建设要求，鼓励采用“草光互补”模式。
二、光伏方阵用地违法的处罚措施
对于光伏方阵用地违法的行为，相关部门将依法进行严肃查处，具体处罚措施可能包括：
责令停止违法行为：一旦发现光伏方阵用地存在违法情况，相关部门将立即责令停止违法行为，防止违法行为的继续扩大和恶化。
恢复土地原状：对于已经造成土地破坏的，相关部门将要求违法者恢复土地原状，包括恢复植被、修复土壤等，以减轻对生态环境的影响。
罚款：根据违法行为的严重程度和造成的后果，相关部门将对违法者处以相应的罚款，以惩戒违法行为并弥补国家损失。
追究法律责任：对于情节严重、构成犯罪的违法行为，相关部门将依法追究违法者的刑事责任，以维护法律的严肃性和权威性。
三、加强用地监管与执法
为了有效预防和打击光伏方阵用地违法行为，相关部门将加强用地监管与执法力度，包括：
建立联审机制：自然资源、林草、能源等主管部门将建立项目用地用林用草审查协调联动机制，对项目用地进行严格审查和管理。
日常监管与执法：省级自然资源和林草主管部门将加强对光伏发电项目用地的日常监管，及时发现和严肃查处违法违规用地行为。
纳入督察执法范围：各地将光伏发电项目用地纳入日常督察执法范围，确保用地管理的规范性和有效性。
综上所述，光伏方阵用地违法将面临严肃的处罚措施。为了确保光伏发电产业的健康发展，建议相关企业和个人严格遵守国家关于光伏发电产业用地的相关规定，合理规划用地布局，节约集约用地，共同维护良好的用地秩序和生态环境。