若涉及行政处罚：
- 对单位的处罚：如果招商引资到位资金数据造假行为违反了行政法规中关于数据真实性、统计准确性的规定，相关单位可能会面临警告、罚款等行政处罚。例如，依据《统计法》第四十一条规定，作为统计调查对象的国家机关、企业事业单位或者其他组织有提供不真实或者不完整的统计资料行为的，由县级以上人民政府统计机构责令改正，给予警告，可以予以通报；其直接负责的主管人员和其他直接责任人员属于国家工作人员的，由任免机关或者监察机关依法给予处分。企业事业单位或者其他组织有前款所列行为之一的，可以并处五万元以下的罚款；情节严重的，并处五万元以上二十万元以下的罚款。
- 对个人的处罚：对于直接负责的主管人员和其他直接责任人员，可能会被给予行政处分，如警告、记过、记大过、降级、撤职、开除等。具体处分依据单位内部的规章制度以及相关法律法规来确定。
若涉及刑事处罚：
- 如果造假行为构成犯罪：例如，通过伪造文件、虚假陈述等手段骗取国家专项资金、优惠政策等，可能构成诈骗罪、伪造国家机关公文罪等。根据《刑法》第二百六十六条规定，诈骗公私财物，数额较大的，处三年以下有期徒刑、拘役或者管制，并处或者单处罚金；数额巨大或者有其他严重情节的，处三年以上十年以下有期徒刑，并处罚金；数额特别巨大或者有其他特别严重情节的，处十年以上有期徒刑或者无期徒刑，并处罚金或者没收财产。
- 对单位犯罪的处罚：如果单位构成犯罪，对单位判处罚金，并对其直接负责的主管人员和其他直接责任人员判处刑罚。例如，单位犯诈骗罪的，对单位判处罚金，并对其直接负责的主管人员和其他直接责任人员，依照诈骗罪的规定处罚。
若涉及民事责任：
- 如果因数据造假给其他主体造成损失：造假方可能需要承担民事赔偿责任。例如，投资者因为相信了虚假的招商引资到位资金数据而进行了投资，结果遭受了经济损失，投资者可以要求造假方赔偿其损失，包括直接损失和间接损失。赔偿的范围和金额需要根据具体的损失情况和相关证据来确定。
在实际处理中，会根据数据造假的具体情节、造成的后果、主观恶意程度等因素来综合确定处罚的种类和幅度。如果你有相关法律问题，可以直接向我咨询。