事业单位工作人员若对单位扣减工资不服，可以通过以下途径来维护自己的合法权益：

1. 与单位协商：

   • 首先，建议尝试与单位的人力资源部门或直接上级进行沟通，了解扣减工资的具体原因和依据。
   • 在沟通过程中，保持冷静和理性，明确表达自己的诉求和理由，争取通过协商解决问题。

2. 申请内部申诉：

   • 如果协商无果，可以依据事业单位的内部规章制度，向单位内部的申诉机构或相关部门提出申诉。
   • 申诉时，应详细陈述事实、提供证据，并明确要求单位纠正错误的扣减工资行为。

3. 向劳动监察部门投诉：

   • 如果内部申诉未能解决问题，可以向当地的劳动监察部门投诉。
   • 投诉时，需准备相关证据材料，如工资条、扣减通知等，以证明单位存在违法扣减工资的行为。
   • 劳动监察部门将依法进行调查，并根据调查结果作出相应的处理决定。

4. 申请劳动仲裁：

   • 如果对劳动监察部门的处理结果不满意，或者单位未在规定期限内改正违法行为，可以向劳动争议仲裁委员会申请劳动仲裁。
   • 仲裁过程中，双方将提交证据、进行辩论，仲裁委员会将根据事实和法律规定作出裁决。
   • 仲裁裁决具有法律效力，双方必须履行。

5. 提起诉讼：

   • 如果对劳动仲裁裁决不服，可以在法定期限内向人民法院提起诉讼。
   • 诉讼过程中，法院将依法进行审理，并根据事实和法律规定作出判决。
   • 判决生效后，如果单位不履行判决义务，可以申请法院强制执行。

在处理此类纠纷时，需要注意以下几点：

• 保留证据：无论是协商、申诉、投诉还是仲裁、诉讼，都需要提供充分的证据来支持自己的主张。因此，务必妥善保管与工资相关的所有证据材料。
• 了解法律：在处理纠纷前，建议先了解相关的法律法规和政策规定，以便更好地维护自己的权益。
• 及时行动：一旦发现单位存在违法扣减工资的行为，应及时采取行动，避免超过法定的申诉或诉讼时效。

若在处理过程中遇到任何法律问题或困惑，可以直接向我咨询。作为专业律师，我将根据您的具体情况提供有针对性的法律建议和帮助。