违法用地勘测费应由违法用地的单位或个人承担。以下是对此问题的详细分析：

一. 法律依据

• 根据《中华人民共和国土地管理法》的相关规定，任何单位和个人都有遵守土地管理法律、法规的义务，并有权对违反土地管理法律、法规的行为提出检举和控告。对于违法用地行为，相关部门将依法进行查处，并可能涉及勘测费用的产生。
• 同时，根据“谁违法，谁担责”的原则，违法用地的单位或个人应当承担因违法用地行为而产生的相应费用，包括勘测费。

二. 费用承担主体

1. 违法用地单位或个人：作为违法用地的主体，他们应当对其违法行为承担法律责任，包括支付因勘测违法用地而产生的费用。
2. 非违法用地单位或个人：他们无需承担违法用地勘测费，因为该费用是由于违法用地行为而产生的，与非违法主体无关。

三. 实际操作

• 在实际操作中，当相关部门对违法用地进行查处时，会依法进行勘测，并产生相应的勘测费用。此时，违法用地的单位或个人应当被要求支付该费用。
• 如果违法用地单位或个人拒绝支付勘测费，相关部门有权采取多种强制措施进行催缴，如冻结银行账户、查封财产等。

综上所述，违法用地勘测费应由违法用地的单位或个人承担。这是基于法律原则和实际操作的综合考虑得出的结论。如有进一步需要，您可以继续咨询我。