在处理土地权属争议时，若您决定通过行政诉讼来维护自身权益，以下是一套清晰、详细且具有深度的流程及依据指南：

一、前置协商与行政调处

1. 协商解决：

• 自行协商：首先，鼓励您与争议对方直接沟通，尝试通过友好协商达成解决方案。这是最高效且成本最低的方式。
• 第三方调解：若自行协商困难，可邀请中立第三方（如熟悉双方的个人、专业调解机构或社区组织）介入，促进双方和解。

2. 行政调处：

• 根据《中华人民共和国土地管理法》第十四条，土地所有权和使用权争议应由当事人先行协商解决，协商无果的，可向当地乡级人民政府或县级以上人民政府申请处理。
• 单位之间的争议：由县级以上人民政府处理。
• 个人之间、个人与单位之间的争议：由乡级人民政府或者县级以上人民政府处理。
• 受理机关会先尝试调解，调解无效后，将作出处理决定。

二、行政诉讼准备

1. 收集证据：

• 土地权属证明：如土地承包经营权证、宅基地使用证等，以证明自己享有合法的土地使用权或所有权。
• 政府处理决定及相关文件：包括政府作出的处理决定书、调查笔录、听证记录等，作为提起行政诉讼的依据。
• 其他辅助证据：如现场照片、证人证言、鉴定报告等，用于支持自己的主张。

2. 编写起诉状：

• 明确原告与被告信息，包括姓名、性别、年龄、民族、工作单位、住所及联系方式（若为法人或其他组织，则需写明名称、住所及法定代表人或主要负责人的相关信息）。
• 阐述诉讼请求，例如要求撤销或变更政府的处理决定、确认土地权属、停止侵权行为并赔偿损失等。
• 详细陈述事实与理由，包括土地权属争议的经过、政府处理决定的内容及其不合理之处。

三、提起行政诉讼

1. 提交起诉状：

• 将编写好的起诉状提交给有管辖权的人民法院（一般为土地所在地的基层人民法院），并附上相关证据材料。
• 按规定缴纳诉讼费用，并根据被告人数提交起诉状副本。

2. 法院受理：

• 法院收到材料后将进行审查，符合起诉条件的将在七日内立案，并通知当事人；不符合的将作出不予受理的裁定。

四、开庭审理与判决

1. 开庭审理：

• 法院安排开庭审理，双方需出庭参加诉讼，按照法院的指示进行陈述、举证、质证及辩论。
• 法院对证据进行审查和认定，查明案件事实。

2. 判决与执行：

• 根据事实和法律，人民法院作出判决，明确判决结果及依据。
• 若法院判决支持您的诉讼请求，则应依法配合法院执行判决。
• 对判决结果不服的一方，可在规定的上诉期内向上一级法院提起上诉。

五、注意事项与法律依据

• 诉讼时效：根据《中华人民共和国民法典》第一百八十八条，请求保护民事权利的诉讼时效期间通常为三年，应及时提起诉讼以避免超过时效。
• 遵守诉讼程序：在整个诉讼过程中，必须严格遵守法院的诉讼程序和规定，如按时出庭、保持法庭秩序等。
• 法律咨询：在涉及复杂法律问题或不确定时，建议咨询专业律师以获得更准确的法律指导。

综上所述，处理土地权属争议的行政诉讼流程包括前置协商与行政调处、行政诉讼准备、提起行政诉讼、开庭审理与判决等步骤。在整个过程中，请确保遵循法律法规，积极配合行政机关和法院的工作，及时提供证据材料，以维护自身合法权益。