查处历史违建时，确实可以依据《中华人民共和国城乡规划法》（以下简称《城乡规划法》）进行。以下是对此问题的详细解答：

一、法律依据

《城乡规划法》是全国人大常委会颁行的法律，它明确规定了城乡规划的管理、实施以及违法建设的查处等相关内容。其中，该法第六十四条是依法查处违法建设的重要法律依据之一。它规定，对于未取得建设工程规划许可证或者未按照建设工程规划许可证的规定进行建设的，由县级以上地方人民政府城乡规划主管部门责令停止建设，并根据具体情况采取限期改正、限期拆除、没收实物或违法收入以及罚款等措施。

二、查处程序与措施

1. 责令停止建设：对于正在建设过程中尚未完工的违法建设，城乡规划主管部门有权责令停止建设，以防止对城乡规划的实施造成不利影响。这一措施具有典型的现场制止性和对建筑物的即时管控性。

2. 限期改正：对于尚可采取改正措施消除对规划实施的影响的违法建设，城乡规划主管部门会责令限期改正，并处以建设工程造价百分之五以上百分之十以下的罚款。这里的“限期改正”并非行政处罚，而是一种补救措施，旨在使违法建设符合城乡规划的要求。

3. 限期拆除与没收：对于无法采取改正措施消除影响的违法建设，城乡规划主管部门会责令限期拆除。若不能拆除，则会没收实物或者违法收入，并可以并处建设工程造价百分之十以下的罚款。

4. 强制执行：若当事人逾期不履行行政处罚决定，城乡规划主管部门或相关行政机关可依法向人民法院申请强制执行，包括采取查封施工现场、强制拆除或回填等措施。

三、注意事项

在查处历史违建时，需要注意以下几点：

1. 依法依规：必须严格按照《城乡规划法》及相关法律法规的规定进行查处，确保执法的合法性和正当性。

2. 公平公正：在查处过程中，要秉持公平公正的原则，对违法建设进行客观评估和处理，避免主观臆断和偏袒。

3. 程序正当：必须遵循法定的程序进行查处，包括立案、调查取证、告知权利、作出决定等环节，确保当事人的合法权益得到保障。

综上所述，《城乡规划法》是查处历史违建的重要依据之一。在查处过程中，应依法依规、公平公正、程序正当地进行处理，以确保城乡规划的顺利实施和当事人的合法权益。