针对村干部虚报土地面积领取补贴款的问题，这是一个涉及违纪甚至可能违法的行为，需要采取一系列严肃且细致的处理措施。以下是我为您提供的清晰、详细、有深度的解答：

一、初步核实与调查

1. 接收举报：首先，相关部门（如纪委监委、乡镇政府等）应接收并认真审阅村民的举报信，了解举报的具体内容、涉及的人员和事件等。

2. 初步核查：根据举报内容，组织专业人员进行初步核查。这包括查阅相关补贴款的领取记录、土地承包合同、实际耕地面积等，以发现可能存在的异常或不一致之处。

3. 现场调查：如果初步核查发现疑点，应组织人员深入现场进行调查。例如，实地测量土地面积，与村民、村干部等进行面对面交谈，了解实际情况。

二、深入调查与取证

1. 详细调查：在初步调查的基础上，进一步深入调查。这可能包括查阅更多相关文件、账目，与更多相关人员（如村会计、其他村干部、村民等）进行谈话，以及进行必要的现场勘查。

2. 收集证据：在调查过程中，应注重收集证据。这包括书面证据（如合同、账目、领取记录等）和口头证据（如证人证言、谈话记录等）。证据应确保真实、合法、有效。

3. 数据比对：将收集到的数据与实际情况进行比对，以发现虚报土地面积的具体情况和金额。这可能需要借助专业的技术手段和工具。

三、处理与追责

1. 确认虚报事实：在证据确凿的情况下，确认村干部存在虚报土地面积领取补贴款的事实。

2. 追缴非法所得：对虚报的补贴款进行追缴，确保国家资金不受损失。这可能需要通过法律途径进行。

3. 给予纪律处分：根据虚报行为的严重程度和造成的后果，对涉事村干部给予相应的纪律处分。这可能包括警告、记过、降职、撤职、开除党籍等。

4. 追究刑事责任：如果虚报行为构成犯罪（如贪污罪、诈骗罪等），应依法追究刑事责任。这需要由司法机关进行立案、侦查、起诉和审判。

四、预防与整改

1. 完善制度：针对此次事件暴露出的问题，完善相关制度和规定。例如，加强补贴款领取的审核和监管机制，确保资金使用的合法性和合规性。

2. 加强教育：对村干部进行廉洁教育和法治教育，提高他们的法律意识和廉洁意识。这有助于预防类似事件的再次发生。

3. 强化监督：加强对村干部的监督和管理力度。例如，定期组织审计和检查活动，及时发现和纠正存在的问题。

综上所述，处理村干部虚报土地面积领取补贴款的问题需要严肃对待、细致调查、依法处理，并注重预防与整改工作。这样才能确保国家资金的安全和有效使用，维护村民的合法权益和社会的公平正义。